Pretraži

E-kolegije
Nastavnike

Filtriraj


Akademska godina


Izbornik

Naziv kolegija
VLSI tehnologija

Vrsta studija
Diplomski sveučilišni
ECTS bodova
4

Jezik kolegija
Hrvatski
Kolegij vidljiv
Da

Nositelji kolegija
Ime i prezime
Tomislav Suligoj
Izvođači nastave
Ime i prezime
Opis kolegija
Razvoj elektronike i poluvodičke tehnologije. Principi i implikacije skaliranja i Moore-ov zakon. Kristalna struktura silicija. Rast kristala i proizvodnja silicijskih pločica. Planarna tehnologija. Principi integracije. Moderna CMOS tehnologija. Integracija postupaka planarnog procesa. Metode dopiranja poluvodiča: difuzija i ionska implantacija. Raspodjele primjesa u siliciju. Fizikalni mehanizmi pri dopiranju. Selektivnost u poluvodičkoj tehnologiji, litografija. Principi izolacije i pasivizacije, termička oksidacija. Uklanjanje materijala u poluvodičkoj tehnologiji, jetkanje. Naparavanje materijala u poluvodičkoj tehnologiji, depozicija. Metode povezivanja komponenti i blokova na čipu. Metalizacijski sustavi. Ograničenja poluvodičke tehnologije. Novi materijali. Nano-tehnologija.